专利名称:	用于碳化硅光学镜面改性与面形提升的磁控溅射扫描方法
专利类别:	发明
申请号:
申请日期:	2018.02.12
专利号:	ZL201810144019.1
第一发明人:	王晋峰
其它发明人:	黄猛;田杰;王烨儒;
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: